Ionenätzanlage

Hersteller: scia Systems GmbH
Modell: Scia Mill 150
Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

Multi-Target Sputteranlage

Hersteller: von Ardenne Anlagentechnik GmbH
Modell: LS730s
Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

Sputteranlage mit RF- und (pulsed) DC-Modi für Abscheidungen mit bis zu 4 simultan aktiven metallischen und/oder keramischen Targets. Betriebstemperatur < 650 °C (<1200 °F)

Zweistrahl-Laservibrometer

Hersteller: Polytec
Einrichtung: Professur für Biomedizinische Sensorik

Pyrometer

Hersteller: Heimann, infra sensor, Raytek
Einrichtung: Senior-​Professur für Festkörperelektronik

Schwarze Strahler

Hersteller: MIKRON, DIAS, HGH
Modell: M300, RCN 300
Einrichtung: Senior-​Professur für Festkörperelektronik

Laserinterferometer

Hersteller: SIOS
Modell: SP 120
Einrichtung: Senior-​Professur für Festkörperelektronik

Chip Bonder

Hersteller: K&S
Modell: Types 1419 & 4126
Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

Photolithografie

Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

FTIR-Spektrometer

Hersteller: Perkin-Elmer
Modell: Spectrum 2000
Einrichtung: Senior-​Professur für Festkörperelektronik

Profilometer

Hersteller: Veeco Instruments GmbH
Modell: DEKTAK 3 ST AUTO
Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik