Alle Geräte dieser Einrichtung anzeigen Ionenätzanlage scia Systems GmbH Scia Mill 150
Informationen
| Name: | Ionenätzanlage | |
| Hersteller: | scia Systems GmbH | |
| Modell: | Scia Mill 150 | |
| Einrichtung: | Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik | |
| Partner: | Technische Universität Dresden (TUD) |
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| Standort: | WHB | |
| Inventarnummer: | 25154305 | |
Beschreibung
Die scia Mill 150 wird für die Strukturierung von komplexen Multilagen auf verschiedensten Materialien eingesetzt. Durch die Kompatibilität mit Reaktivgasen ermöglicht das System Ätzprozesse (Ion Beam Milling / Ion Beam Etching) mit erhöhter Selektivität und Rate. Das platzsparende Design macht aus der scia Mill 150 das ideale System für die Kleinserienproduktion und F&E-Anwendungen. ((C) Scia Systems GmbH)
Link zu weiteren Informationen
https://www.scia-systems.com/products/ion-beam-etching/scia-mill-150
Optionen der Gerätenutzung
- Dieses Gerät wird im Rahmen einer Dienstleistung oder Forschungsleistung (Kooperation) verwendet.
Ansprechpartner
Zugangsvoraussetzungen
Vorgespräch erforderlich, keine selbständige Nutzung
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 10. März 2026 um 12:26:09