Mechanische Kristall- und Waferbearbeitung

Einrichtung: Professur für Beschichtungstechnologien für die Elektronik

Waferbearbeitung

Geräteentwicklung & Rapid Prototyping in der Medizintechnik

Einrichtung: Arbeitsgruppe Perfusionstechnik

Analyse & Modellierung medizinischer Systeme

Einrichtung: Arbeitsgruppe Perfusionstechnik

In vitro Testsetups für die Medizintechnik

Einrichtung: Arbeitsgruppe Perfusionstechnik

Präzisionsmechanische Fertigung

Einrichtung: Werkstattteil Präzisionsmechanik

Multimodale Szenengenerierung

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Schall- und Schwingungsmessun­gen

Einrichtung: Professur für Akustik und Haptik

Waferbeschichtung

Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Waferbeschichtung - Oxidation, PECVD-, ALD- und PVD-Prozesse für Herstellung funktionaler Schichten und Schichtsysteme, Diffusionsbarrieren, Metallisierungen verschiedener Einsatzbereiche.

Si-Tiefenätzen für MEMS, MOEMS und Mikrofluidik

Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Si-Tiefenätzen für MEMS, MOEMS und Mikrofluidik.

Additive und subtraktive Verdrahtungstechnologien

Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik

Additive und subtraktive Verdrahtungstechnologien - z.B. Damascene Strukturierung.