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Chemische Schichtstrukturierung
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Chemische Schichtstrukturierung - chemisches Naß- und Trockenätzen.
Trennschleifen verschiedener Substrate
Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Trennschleifen verschiedener Substrate mit max. 200mm Durchmesser und Substratmaterialien (Si, Saphir, Gläser).

