XPS/AFM/STM Analysetool in Verbindung mit einer ALD Beschichtungsanlage Omikron

Basic Information

Name:	XPS/AFM/STM Analysetool in Verbindung mit einer ALD Beschichtungsanlage
Manufacturer:	Omikron
Facility:	Chair for Semiconductor Technology (HLT)
Partner:	Technische Universität Dresden (TUD)

Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)

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Phone:

+49 351 463-35468

Fax:

+49 351 463-37172

Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:08