Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten

Basic Information

Name:	Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten
Facility:	Chair for Semiconductor Technology (HLT)
Partner:	Technische Universität Dresden (TUD)

Cluster-Tool zur Beschichtung und Strukturierung von dünnen Schichten (2xPVD; ICP soft clean; RIE; PE-CVD)

Prof. Dr. rer. nat. J.W. Bartha/ Mrs. R. Pfennig (Secretary)

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Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:08