Alle Dienstleistungen dieser Einrichtung anzeigen Metrologie und Inspektion
Informationen
| Name: | Metrologie und Inspektion | |
| Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
| Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) |
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Beschreibung
Metrology and inspection are crucial processes in semiconductor manufacturing, ensuring the accuracy and quality of wafers by measuring critical dimensions and detecting defects at various stages of processes. With our instruments we can perform thickness measurements, surface characterization, defect classification, sheet resistance and stress.
Arten der Dienstleistung
- Die Dienstleistung wird als eine Standard- bzw. Routineleistung ohne Forschungsanteil erbracht.
- Die Leistung wird als eine Forschungsleistung z.B. zur Methodenentwicklung, -Weiterentwicklung oder im Rahmen einer Forschungskooperation erbracht.
Ansprechpartner
Zugeordnete Geräte
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 14:07:38