Abscheidung von Material auf Wafern
Informationen
Name: | Abscheidung von Material auf Wafern | |
Einrichtung: | 200 mm MEMS-Reinraum | |
Partner: | Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme (IPMS) |
Beschreibung
We offer services on different instruments for different deposition like ALD, CVD, PVD and evaporation. Chemical Vapor Deposition (CVD) and Atomic Layer Deposition (ALD) are both chemical processes where gaseous precursors react on the substrate surface to form a thin film. ALD is a variant of CVD that allows for atomic-scale thickness control through sequential, self-limiting surface reactions. Physical Vapor Deposition (PVD), involves vaporizing a solid material and condensing it onto the substrate, this process is faster compared to ALD / CVD but not as accurate. For PVD we offer sputtering and evaporation (heating of the material followed by condensing on the substrate).
Arten der Dienstleistung
- Die Dienstleistung wird als eine Standard- bzw. Routineleistung ohne Forschungsanteil erbracht.
- Die Leistung wird als eine Forschungsleistung z.B. zur Methodenentwicklung, -Weiterentwicklung oder im Rahmen einer Forschungskooperation erbracht.
Ansprechpartner
Zugeordnete Geräte
Letztes Update
Zuletzt aktualisiert am: 14. Januar 2025 um 15:34:26