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XPS/AFM/STM Analysetool in Verbindung mit einer ALD Beschichtungsanlage
Hersteller: Omikron Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Digitale Oszillographen
Hersteller: Tektronix Modell: TDS 540, TDS 420A, TDS 784D Einrichtung: Professur für Theoretische Nachrichtentechnik
Rasterelektronenmikroskop
Hersteller: Philips Modell: XL 40 Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Spektralanalysator
Hersteller: Hewlett Packard Modell: HP 8563E Einrichtung: Professur für Theoretische Nachrichtentechnik

