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Anlage zum Chemisch Mechanischen Polieren
Hersteller: Megapol Fa. Alpisec; G&P Korea Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
Atomabsorptionsspektrometer (AAS)
Hersteller: Carl Zeiss (heute: Analytik Jena AG) Modell: AAS 5 Einrichtung: Professur für Hydrochemie


