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Rasterkraftmikroskop
Hersteller: Digital Instruments Inc. Modell: DI 3500 M Einrichtung: Professur für Halbleitertechnik
RIE/PECVD-Anlage
Hersteller: Oxford Plasma Technology Modell: Plasmalab 80 Plus Einrichtung: Professur für Festkörperelektronik
Eyegaze Analysis System - Remote EyeTracker
Hersteller: LC Technologies Einrichtung: Professur für Ingenieurpsychologie und angewandte Kognitionsforschung


